Процесс нанесения парилена
Парилен — уникальное конформное защитное полимерное покрытие, которое наносится методом химического осаждения из газовой фазы в вакууме (CVD-метод). Именно уникальный метод нанесения позволяет формировать сверхтонкий беспористый слой, с превосходными барьерные и диэлектрическими свойствами, обеспечивающий защиту изделий от влаги, газов и электрического пробоя. Этот процесс нанесения обеспечивает существенные преимущества парилена по сравнению с классическими защитными покрытиями, наносимыми в жидкой форме, что обеспечило широкое распространение парилена в электронике, приборостроении, медицине, авиакосмической и других отраслях экономики. В качестве исходного сырья для нанесения парилена используется димер — твердое вещество, поставляемое в порошкообразной форме.
Схема осаждения париленового покрытия
Этапы формирования париленового покрытия
СУБЛИМАЦИЯ
Под воздействием повышенных температур в вакууме димер (парная молекула парилена) сублимирует, т.е. преобразуется из порошка в газ минуя жидкую фазу
ПИРОЛИЗ
Газообразный димер нагревается до температур выше 650 °C, что приводит к его разложению до мономера (одиночной молекулы). Мономер является высокореакционноспособным веществом из которого будет формироваться покрытие
ОСАЖДЕНИЕ
Молекулы мономера, поступающие в виде газа в камеру осаждения, равномерно осаждаются на поверхности изделий при комнатной температуре. Конденсация молекул мономера на поверхности сопровождается самопроизвольной полимеризацией
КРИОЛОВУШКА
Обеспечивает улавливание остаточных паров мономера, для предотвращения их попадания в вакуумный насос
НАСОС
Используется для вакуумной откачки и поддержании необходимого давления в установке нанесения париленовых покрытий.
Необходимые операции при нанесении парилена
Очистка. Перед нанесением покрытия необходимо тщательно очистить поверхность изделия от возможных загрязнений, таких как остатки флюса, пыль, отпечатки пальцев. Для этого могут использоваться различные методы, включая промывку в специальных растворах, механическую обработку или плазменную очистку поверхности
Маскирование. Парилен осаждается в виде газа и проникает в любые места. Защита участков, не допускающих формирования покрытия, осуществляется путем нанесения низкоадгезионных компаундов (силикон, латекс) или установкой ответных частей герметичных разъемов
Загрузка. Для эффективного размещения изделий в установке и повышения равномерности покрытия требуется специальная технологическая оснастка и крепеж. Грамотная загрузка изделий позволяет снизить расходы на нанесение покрытия на единицу изделия и обеспечить требуемые характеристики
Аппретирование. Адгезия парилена к материалу изделия формируется с помощью промежуточного слоя специального вещества – аппрета (праймера), наносимого газофазно в вакууме (в установке) или окунанием в жидкий раствор
Осаждение парилена. Наносится необходимый тип покрытия, толщина и структура которого определяются используемым техпроцессом
Контроль и демаскирование. Контроль параметров покрытия чаще всего проводится по контрольным образцам. При необходимости после снятия изделий с оснастки проводится демаскирование
